【SHPシリーズ】
クリーンルーム用 超高圧型集塵機

SHPシリーズは、超高静圧・中風量の集塵機です。基板分割や付着粉塵除去のように、高静圧での吸引が求められる工程に最適な集塵機です。設置面積を抑えた設計で、省スペース化に貢献します。

集塵機の構造と特長

SHP_feature1

① 1次フィルタ
導電性フィルタを標準搭載しており、静電気の発生を抑えます。
■SHP-1000AT3/SHP-1200AT3
 捕集効率 5u 99.9% 以上

■SHP-1200AT3-FB
 捕集効率 45u 95% 以上
 粉塵が袋にたまるので、簡単にフィルタ交換が可能です。

② 着脱フランジ
排気口フランジのサイズがワンタッチ交換で変更可能です。
※排気フランジの口径は、吸込フランジの口径以上で設定してください。

③ 排気フィルタ
HEPAフィルタを搭載しており、クリーンルーム内でご使用いただけます。
(対応クリーンクラス1,000 ※工場出荷時検査値)

④ 2次フィルタ
電気部品を粉塵から保護します。

⑤ ダストパン
回収した粉塵を、簡単に引き出して捨てることができます。

集塵機の操作と制御

AT3パネル

AT3パネル

集塵機の操作や状態確認ができるパネルを搭載しています。従来のATパネルから進化し、各種圧力やブロア温度・回転数など、確認できる情報が充実しています。

また、別売のリモートケーブル(型式:MT-173-8)を使用することで、運転ON/OFFが遠隔操作でき、出力信号を取り出すことができます。さらに、別売オプションでイーサネット通信やRS-485通信への対応も可能となりました。

機種一覧

SHP-1000AT3
  • 超高圧型
  • クリーンルーム内に設置対応
  • 逆洗式
  • AT3パネル
  • 標準でRoHS対応
出力 1200W
電圧 200V単相(50/60Hz)
定格電流 11.0A
最大風量 4.5㎥/min
最大静圧 12.5kPa
騒音値 56 - 71dB
吸込口サイズ

φ75(別売φ65・φ55・φ38)

オプション対応
質量 45.0kg
集塵可能量 8.8L
本体寸法(D×W×H) 420mm × 360mm × 1020mm
電源コード 5m
SHP-1200AT3
  • 超高圧型
  • クリーンルーム内に設置対応
  • 逆洗式
  • AT3パネル
  • 標準でRoHS対応
出力 1200W
電圧 200V単相(50/60Hz)
定格電流 11.0A
最大風量 6.0㎥/min
最大静圧 13.5kPa
騒音値 55 - 70dB
吸込口サイズ

φ75(別売φ65・φ55・φ38)

オプション対応
質量 56.0kg
集塵可能量 12.9L
本体寸法(D×W×H) 495mm × 420mm × 1030mm
電源コード 5m
SHP-1200AT3-FB
  • 超高圧型
  • クリーンルーム内に設置対応
  • 逆洗式
  • AT3パネル
  • 標準でRoHS対応
出力 1200W
電圧 200V単相(50/60Hz)
定格電流 11.0A
最大風量 6.0㎥/min
最大静圧 13.5kPa
騒音値 55 - 70dB
吸込口サイズ

φ75(別売φ65・φ55・φ38)

オプション対応
質量 49.0kg
集塵可能量 45.0L
本体寸法(D×W×H) 482mm × 420mm × 1030mm
電源コード 5m

※騒音値は、吸込み口にホースを接続した状態で、本体より1m離れた任意の点でAスケール(dBA)で測定した値です。

対応フィルタ

SHP-1000AT3
1次フィルタ

CS-200-300-75P-E

2次フィルタ

CHF-2525-50

排気HEPAフィルタ

HEP-3030-69

モーター冷却用吸気フィルタ

AE-100 113×47

モーター冷却用排気HEPAフィルタ

HEP-1293-33

SHP-1200AT3
1次フィルタ

CS-250-300-93P-E

2次フィルタ

CHF-2525-50

排気HEPAフィルタ

HEP-3535-69

モーター冷却用吸気フィルタ

AE-100 100×33

モーター冷却用排気HEPAフィルタ

HEP-1293-33

SHP-1200AT3-FB
1次フィルタ

FB-900-33-125

2次フィルタ

CHF-2525-50

排気HEPAフィルタ

HEP-3535-69

モーター冷却用吸気フィルタ

AE-100 100×100

モーター冷却用排気HEPAフィルタ

HEP-1293-33