用語集

HEPAフィルタ

HEPAフィルタは、微小な粒子を捕集できる高性能なフィルタで、JIS規格で「定格風量で粒径が0.3μmの粒子に対して99.97％以上の粒子捕集率をもち、かつ初期圧力損失が245Pa以下の性能を持つエアフィルタ」と規定されています。

HEPAフィルタは、集塵機の排気によるクリーンルームの汚染を防止するため、排気フィルタとして使用されます。排気フィルタとしてHEPAフィルタを搭載した集塵機は、概ねクリーンクラス1000～100に対応可能です。

チコーエアーテックでは、排気フィルタとしてHEPAフィルタを搭載した集塵機は、型番の末尾に-V1を付与しています。