① 1次フィルタ
剥離性の高いテフロン微孔膜フィルタを採用しており、払落としによるクリーニング効果を最大限に発揮できます。
■独自の巻き上げ機構により、ゼオライトをプリコート
捕集効率が0.5μ99.99％以上のフィルタにゼオライトをプリコートすることで、レーザー加工で発生したヒュームや微粒子を吸着・捕集します。吸引ブロアにより、吸引された空気中のヒュームや微粉塵は、ゼオライト吹き上げ口から舞い上がり、同時にゼオライトを巻き上げながらフィルタに積層させます。
■塵落とし機能（ジャイロエアー式）
独自の機構を搭載しており、約20秒間の自動塵落としを行います。 自動塵落とし時は逆流防止のため能力レベル1での運転が約30秒間行われます。 自動塵落としは次のいずれかの条件で起動します。
（1）運転積算時間が1時間以上経過後の運転OFF時
（2）リモート操作で能力レベル1に変更時
② 着脱フランジ
排気口フランジのサイズがワンタッチ交換で変更可能です。
※排気フランジの口径は、吸込フランジの口径以上で設定してください。
③排気フィルタ
HEPAフィルタを搭載しており、クリーンルーム内でご使用いただけます。
（対応クリーンクラス100,000~10,000 ※工場出荷時検査値）
④ 活性炭カセット
臭いを吸着するカセット式の活性炭フィルタです。簡単に交換できます。
⑤ 2次フィルタ
電気部品を粉塵から保護します。
AT3パネル
集塵機の操作や状態確認ができるパネルを搭載しています。従来のATパネルから進化し、各種圧力やブロア温度・回転数など、確認できる情報が充実しています。
また、別売のリモートケーブル（型式：MT-173-8）を使用することで、運転ON／OFFが遠隔操作でき、出力信号を取り出すことができます。さらに、別売オプションでイーサネット通信やRS-485通信への対応も可能となりました。
CBD-1000AT3-DSA-J
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出力 |
1200W |
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電圧 |
200V 単相 (50Hz/60Hz) |
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定格電流 |
11.0A |
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最大風量 |
4.3㎡/min |
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最大静圧 |
12.5kPa |
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騒音値 |
55-70dB |
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吸込口サイズ |
Φ75（別売φ65・φ50・φ38） |
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質量 |
53.5kg |
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集塵可能量 |
3.5L |
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本体寸法 |
460×385×1060mm |
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電源コード |
5m |